日本Noritake LHA抛光垫修整器

产品简介：
一种用于对化学机械抛光垫(chemical mechanical polishing pad,CMP pad)进行修整的修整器,由耦合有超硬磨料颗粒的多个磨片嵌入一个大的基盘构成，能最大程度发挥LHA抛光垫性能。

产品规格：
直径360mm（适配940mm抛光垫）、直径485mm（适配1337mm抛光垫）