应用领域:
• 用于冷却介质:可用于数据中心沉浸式冷媒;功率器件沉浸式冷媒;干法刻蚀装置、光刻装置、离子喷射装置、探头及信息处理装置的控温冷媒;也可用于食品工业冷却装置、冷冻干燥、橡胶塑料的冻结粉碎、化学医药品工业冷却装置等。
• 用作清洗剂:可用于清洗半导体刻蚀腔体及零件;清除氟素残留堆积物;清洗FOUPs(前开式标准晶圆盒);清洗精密电子零件的颗粒杂质;清洗LCD/OLED显示器、光学零件及镜片;清洗汽车引擎零件;清洗通讯设备及航空引擎、输氧管路设备;清洗医疗设备零件等。
• 用作氟碳溶剂:可用于气密性测试和耐电压测试的媒介物;电子涂层、屏幕涂层稀释剂;氟油、氟树脂、氟涂层稀释剂;可燃性溶剂的燃点调整剂;反应溶媒以及分析用萃取溶剂等。